JIS H0614-1996 镜面硅片的目视检查
时间:2024-05-16 10:49:49 来源: 标准资料网 作者：标准资料网 阅读：8675
【英文标准名称】:Visualinspectionforsiliconwaferswithspecularsurfaces
【原文标准名称】:镜面硅片的目视检查
【标准号】:JISH0614-1996
【标准状态】:现行
【国别】:日本
【发布日期】:1996-01-01
【实施或试行日期】:
【发布单位】:日本工业标准调查会(JP-JISC)
【起草单位】:TechnicalCommitteeonElectronics
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:薄膜;镜子;检验;表面性质;无损检验;镜面反射;膜(物态);硅;外观检查(试验);衬底(绝缘)
【英文主题词】:visualinspection(testing);non-destructivetesting;inspection;;;thinfilms;;specularreflection;mirrors;surfaceproperties
【摘要】:この規格は,半導体素子を形成することを目的としたシリコンウェーハをケミカル·メカニカルポリッシュによって鏡面加工仕上げしたウェーハ(以下,ウェーハという。)の表面(鏡面及び裏面)の目視による外観検査について規定する。
【中国标准分类号】:H81
【国际标准分类号】:29_045;77_120_99
【页数】:8P;A4
【正文语种】:日语
基本信息
| 标准名称： | 冷轧管机 |
| 中标分类： |
冶金 >>
冶金机械设备 >>
轧制设备 |
| 发布日期： | 1991-10-18 |
| 实施日期： | 1992-10-01 |
| 首发日期： | 1900-01-01 |
| 作废日期： | 1900-01-01 |
| 归口单位： | 西安重型机械所 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 8 页 |
适用范围
本标准规定了冷轧管机的型式、基本参数与技术条件。
前言
没有内容
目录
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引用标准
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所属分类： 冶金 冶金机械设备 轧制设备
基本信息
| 标准名称： | 组合式转轮除湿机 |
| 英文名称： | Central-station rotor dehumidifier |
| 中标分类： |
轻工、文化与生活用品 >>
轻工机械 >>
其他轻工机械 |
| ICS分类： |
流体系统和通用件 >>
通风机、风扇、空调器
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| 发布部门： | 中华人民共和国工业和信息化部 |
| 发布日期： | 2010-11-22 |
| 实施日期： | 2011-03-01 |
| 首发日期： | |
| 作废日期： | |
| 归口单位： | 全国轻工机械标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 杭州普瑞除湿设备有限公司 |
| 出版社： | 中国轻工业出版社 |
| 出版日期： | 2011-03-01 |
适用范围
本标准规定了组合式转轮除湿机的分类、基本规格、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
没有内容
所属分类： 轻工 文化与生活用品 轻工机械 其他轻工机械 流体系统和通用件 通风机 风扇 空调器